〈观察〉AI封装关键材料玻璃基板怎么量产?供应链流程一文看懂
随着 AI 晶片功耗与尺寸持续放大,先进封装正从传统有机基板,逐步走向玻璃基板 (Glass Core),相较 PCB/ABF 等有机材料,玻璃具备更好的平坦度与尺寸稳定性,可以承载更大面积的晶片与更细密的线路,也因此被视为下一阶段 AI 封装的重要材料。以下是《鉅亨网》为读者採访整理的玻璃基板为何需要以及其供应链全流程。

业界指出,玻璃基板要真正量产,要将空白玻璃转变成可用于先进封装的玻璃基板,中间必须经过雷射改质、蚀刻打孔、镀铜、检测、研磨与增层等多道製程,尤其在雷射改质、蚀刻打孔被视为是 TGV 製程的重中之重,也是目前玻璃基板量产卡关的关键。
为什么 AI 封装需要玻璃基板?
传统 AI 封装多使用有机基板,但随着 GPU、ASIC 等晶片面积愈来愈大,载板面积也必须同步放大。但因载板採用树酯等有机材料,在高温製程中容易翘曲、变形,进而影响后续堆叠与封装良率。
玻璃基板的优势在于平坦度高、尺寸稳定性佳,较能支撑大面积封装需求。不过,玻璃本身不导电,因此要让晶片上下层讯号互通,就必须在玻璃上打出大量垂直导通孔,也就是 TGV,并在孔内镀铜,形成上下讯号连接通道。
简单来说,玻璃基板量产的第一个难题,就是要在一片玻璃上打出数百万个孔,而且每个孔都要够直、够乾净、孔壁粗糙度够低,后续镀铜后才不容易产生裂纹或失效。
业界指出,目前玻璃基板因尚未有标準规格,还在百家争鸣的阶段,也衍生出众多商业模式,以符合不同终端客户的需求,如玻璃原料供应商将技术延伸至玻璃加工、面板厂转变成玻璃加工厂、载板厂专注于后段增层。
玻璃基板量产流程一:空白玻璃材料量产第一步,是取得符合规格的空白玻璃。这一段主要由康宁、旭硝子 (AGC)、肖特 (Schott) 等玻璃大厂掌握,因为玻璃材料本身的纯净度与特性,会影响后续雷射改质、蚀刻速度、孔形控制与可靠度。
此外,玻璃大厂也有意延伸至玻璃加工处理,未来不一定只扮演材料供应商。若原料厂能进一步掌握雷射改质与打孔能力,就能从单纯卖空白玻璃,升级为供应高附加价值的 Glass Core。
业界传出,康宁一片 510X515 毫米的空白玻璃,单片价格约新台币 1 万元,但经过雷射、镀铜后,价格也水涨船高至 10 万元,等于翻了 9 倍。姑且不论客户接受度,光价格成长速度就凸显 TGV 製程的困难程度,也显现对玻璃原料厂而言,商业模式可能从材料买卖,升级成加工后玻璃核心供应。
玻璃基板量产流程二:雷射改质玻璃无法像硅晶圆一样大量使用乾蚀刻慢慢打孔,因为玻璃基板面积大、孔数多,若逐孔加工,产能无法支撑量产。因此,目前较可行的方式是先用雷射在玻璃内部做改质,雷射会先把预定要形成孔洞的位置打鬆,让后续蚀刻液能沿着雷射改质路径把孔打穿。
业界认为,雷射改质製程相当关键,若雷射打得不够均匀,后续蚀刻出来的孔可能上大下小、孔形歪斜,甚至出现不该被打到的微裂痕。过去很多问题会被归咎于蚀刻参数,但现在随着检测技术进步,雷射改质品质已经成为量产前段必须管控的重点,也因此传出有些检测会布局在雷射改质与蚀刻打孔的中间,藉此釐清是雷射的问题还是蚀刻的问题。
玻璃基板量产流程三:蚀刻打孔完成雷射改质后,玻璃会进入蚀刻槽。蚀刻液会沿着雷射改质过的位置,把玻璃孔洞打出来,形成 TGV 结构。
这一站的优势是可以一次处理多片大面积玻璃,比乾蚀刻逐片、逐孔加工更有量产效率。以面板级玻璃尺寸来看,510X515 毫米约有 300 多万孔,未来尺寸放大更有可能有数百万个孔,若没有量产的蚀刻能力,成本与时间恐怕难以被终端客户接受。
不过,蚀刻后的孔形与孔壁品质,直接影响后续镀铜与可靠度。如果孔壁太粗糙,铜镀进去后,在高温环境下因铜与玻璃热膨胀係数不同,可能把玻璃顶裂,造成内部裂纹。
玻璃基板量产流程四:镀铜与金属化TGV 孔洞打出来后,下一步是金属化与镀铜,让上下层讯号可以透过孔内铜柱或铜层导通。
业界坦言,镀铜的真正难点在于铜与玻璃的材料特性不同。当后续进入高温高湿可靠度测试时,铜膨胀速度与玻璃不同,若孔壁粗糙、孔内有气泡或界面不稳定,就可能导致玻璃内部裂开。
因此,业界也在尝试不同解方。其一是控制孔壁粗糙度,从雷射与蚀刻前段就把孔做好;其二是在玻璃与铜之间加入缓冲层,降低热膨胀差异造成的应力。不过,缓冲层本身又会增加一道製程与材料成本,也需要额外检测厚度与均匀性,目前缓冲层主要以日商的技术为主。
玻璃基板量产流程五:检测成为瓶颈玻璃基板镀完铜之后,要再进一步检测,但目前检测也成为瓶颈。由于传统 AOI 多半只能看到表面,对于玻璃内部裂纹、孔内气泡、雷射改质区域、透明缓冲层厚度等问题,往往难以掌握。
这也让检测点从过去蚀刻后再检查,往前推到雷射改质后就要检查。因为若雷射改质已经出问题,后面蚀刻、镀铜、增层再怎么做,都可能只是把缺陷带到更后段,最后在可靠度测试时爆出来。
也因此,未来玻璃基板量产线上,检测设备不会只出现在终点,而会分布在雷射改质后、蚀刻后、镀铜后、甚至增层前后等多个关键站点。
玻璃基板量产流程六:研磨与 ABF 增层当玻璃完成打孔、镀铜与基本检测后,接下来会进入研磨与增层製程。这时候,揖斐电 (IBIDEN)、欣兴 (3037-TW) 等载板厂的角色才会变得重要,也是 ABF 载板厂的切入点。等于在 Glass Core 前段与 ABF 增层后段,是两个不同分工。
商业模式解析 康宁、AGC:玻璃原料供应商与加工厂兼具第一种是玻璃原料业者,玻璃大厂原先对玻璃材质的了解程度,本来就远胜其他业者,尤其玻璃材料在雷射、蚀刻后的特性,都会影响孔洞品质,因此康宁、AGC 要从材料供应商升级为前段 Glass Core 的供应商,也被视为是情理之中。
群创:面板厂转型玻璃加工厂第二种是群创模式。业界传出,群创偏向自己买空白玻璃,接着一条龙做雷射改质、蚀刻、镀铜等 Glass Core 前段製程,再把后续增层交给载板厂或其他后段供应链。不仅代表群创要掌握玻璃基板的最关键核心加工能力,一方面也是要对台积电有交代,以便釐清产品损坏后的责任归属。
揖斐电、欣兴、三星电机:倾向专注后段增层第三种载板模式。业界认为,ABF 载板厂现阶段角色较偏向后段,因载板厂过去没有玻璃加工经验要重新培养,需要花费大量时间与金钱,而在终端客户紧迫盯人的速度下,载板厂偏向外购 Glass Core,把重心放在自己擅长的 ABF 增层与载板后段製程。换言之,载板厂不一定要自己从空白玻璃开始做,而是等前段 Glass Core 供应链成熟后,再承接后续的基板增层。
业界认为,玻璃原料厂仅提供玻璃,转交由专业的玻璃加工厂进行雷射、镀铜等 TGV 製程后,再交给载板厂做增层,应会是未来主流製程的方向。其中,群创作为玻璃加工厂,被视为是关键要角,且群创若能掌握前段,价值量较高,但製程风险与设备投入也更大,其资本支出动向将是未来玻璃基板成型的关键。
台积电、封测厂:不是前段瓶颈,扮演后段接手者台积电 (2330-TW)(TSM-US)、日月光投控 (3711-TW) 等先进封装厂,现阶段角色较偏后段。先进封装要等 Glass Core 準备好后,才会接手后续封装;在玻璃本身的雷射改质、蚀刻、镀铜、ABF 以前製程,先进封装业者参与度有限。
不过,先进封装厂仍需要面对新挑战,尤其玻璃与传统有机基板不同,面积不仅更大、也更容易碎裂,因此搬运、对位、贴合与封装流程都需要重新调整,要如何实现流程化,是台积电最擅长的业务,市场也将目光摆在台积电身上。
谁最受惠?玻璃、设备、载板厂、先进封装厂人人有机会第一是玻璃材料厂。康宁、AGC、Schott 等大厂若能从空白玻璃延伸到打孔玻璃或 Glass Core,价值量将明显提升。
第二是雷射与蚀刻设备厂。TGV 量产需要大量雷射改质与批次蚀刻能力,相关设备将成为前段产能放大的关键。
第三是检测设备厂。由于玻璃透明、缺陷多藏在内部,检测难度高于传统基板。能看见内部裂纹、孔壁粗糙度、气泡与缓冲层的设备,将成为良率提升的重要工具。
第四是载板厂。当 Glass Core 前段成熟后,ABF 增层、线路製作与后段整合仍是载板厂强项,相关业者有机会承接后段製程。
第五是先进封装业者。当玻璃基板真正进入 AI 封装,台积电等业者将负责更后段的封装组装与量产整合。
量产时程:2027 年加速、2028 年放量玻璃基板虽然受到 AI 封装带动,但距离大规模量产仍需要时间。但就业界观察,TGV 量产时程可能落在 2027 年加速、2028 年后更明显放大;现阶段重点仍是製程验证、可靠度测试与供应链分工确立。